化学 スパッタリングで飛んだ原子が基板上で安定する場所とは?表面拡散とエネルギー的安定状態を解説
薄膜形成に用いられるスパッタリングでは、ターゲットから飛び出した原子が基板表面に到達した後、その場に固定されるだけではなく、表面上を移動(表面拡散)してより安定した位置へ移ることがあります。では、この「安定な場所」とは具体的に何に対して安定...
化学
化学
化学
化学
化学
化学
化学
化学
化学
化学