工学 今後の半導体製造における露光装置とエッチング技術の役割
半導体デバイスの進化において、トランジスタの構造がGAA(Gate-All-Around)、フォークシート、CFET(Complementary FET)構造にシフトしていく中で、露光装置やエッチング、イオン注入、スパッタリング技術の役割が...
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