なぜ半導体製造でウェハーは偶数枚で流すのか？露光機とプロセスの詳細解説

半導体製造のプロセスで、ウェハーを偶数枚で流す理由については、主に露光機のステージ構造と効率性に関わる技術的な背景があります。ここでは、なぜ24枚で流す方が好まれるのか、その理由を詳しく説明します。

露光機のステージ構造と作業の分担

半導体のphotolithography（フォトリソグラフィ）プロセスでは、露光機に2つのウェハーステージがあります。これにより、1つのステージが露光中にもう1つのステージで別のウェハーをセットすることができ、効率的な作業が可能となります。もしウェハーを奇数枚で流す場合、もう1つのステージがフリーの状態になり、機械の稼働効率が落ちてしまいます。したがって、ステージ間で作業のローテーションがスムーズに進むよう、偶数枚での流し方が選ばれることが多いのです。

露光機のボトルネックと流し枚数の調整

露光機の性能は高額であり、最適な稼働効率を得るためには、露光作業がボトルネックとならないようにすることが重要です。偶数枚の流し方にすることで、露光作業が終了する際にはもう1つのステージで次のウェハーの準備が整っており、待機時間が最小限に抑えられます。これにより、全体のプロセスが効率的に運営され、時間の無駄を減らすことができます。

24枚で流す理由と25枚との違い

25枚で流す場合、露光機のステージの1つが完全にフリーの状態となり、露光の間に無駄な待機時間が生じます。この無駄な時間を削減するために、24枚で流すことが選ばれます。無駄な待機をなくすことで、露光機の稼働率を最大限に活用できるため、24枚が理想的な枚数となるのです。

まとめ: 効率化と精度の両立

半導体製造において、ウェハーを偶数枚で流す理由は、露光機の効率性と作業のローテーションに関する技術的な配慮から来ています。24枚で流すことで、露光機の稼働率を高め、効率的な生産が可能となります。これにより、最適な生産プロセスが確保されるため、技術的な要素が非常に重要です。