真空ポンプを使用しても-0.06MPa以上下がらない場合、一般的に考えられる原因は空気漏れ以外にも複数存在します。密閉性が確認できていても、内部の構造や機器の限界が影響している場合があります。
真空ポンプの性能限界
使用している真空ポンプ自体の到達可能真空度を確認してください。例えばオイルシール式やロータリーポンプでは、理論上の到達圧力が-0.06MPa付近である場合があります。この場合、ポンプを変えても真空度が改善されないことがあります。
配管・チャンバー内部のガス放出
ポンプ停止後に真空ゲージが-0.06MPaで止まる場合でも、チャンバーや配管内の素材から微量の気体が放出されている可能性があります。プラスチック部品やシール材は揮発性ガスを放出することがあります。
真空ゲージの特性と位置
真空ゲージの種類や設置位置も影響します。ゲージによっては低真空域で感度が低く、-0.06MPaより下がっても読み取り値が変わらない場合があります。また、チャンバー中心と配管端で圧力分布に差があることもあります。
確認すべき追加ポイント
- チャンバー内部の吸着ガスや水分の除去（加熱や乾燥）
- シール材や配管継手の材質確認
- ポンプの型式・カタログ上の到達真空度確認
- 別の真空ポンプでの到達圧力比較
まとめ
-0.06MPa以上下がらない場合、単純な空気漏れだけでなく、ポンプの性能限界、チャンバーや配管内部のガス放出、ゲージ特性など複合的な要因が考えられます。到達圧力を改善するには、ポンプ選定、乾燥処理、シール材の確認を含めて総合的に点検することが重要です。
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