真空ポンプの性能を示す「到達圧力」には、いくつかの表現方法があります。特に「到達圧力 0.6Pa」や「到達圧力(GVOpen時) 6Pa」といった表示は、絶対圧力やゲージ圧力がどのように使われているのかを理解するために重要です。この記事では、これらの表示が何を意味しているのか、またその違いについて解説します。
絶対圧力とゲージ圧力の違い
真空ポンプの圧力には「絶対圧力」と「ゲージ圧力」の2種類があります。絶対圧力は、真空ポンプ内部の圧力を絶対零度（真空）からの基準で測ったもので、通常の気圧を基準にします。一方、ゲージ圧力は、周囲の大気圧を基準にした圧力です。
「到達圧力 0.6Pa」とは？
「到達圧力 0.6Pa」という表記は、真空ポンプが到達できる最終的な圧力が0.6Paであることを示しています。この場合、0.6Paは絶対圧力を指しており、ポンプが動作を続けて最も低い圧力に達した状態です。
「到達圧力(GVOpen時) 6Pa」とは？
「到達圧力(GVOpen時) 6Pa」は、ゲートバルブが開いているときの圧力を指しています。この場合、GV（ゲートバルブ）が開かれているときに、真空ポンプが達成する圧力が6Paとなります。ここでも、6Paは絶対圧力の値です。ゲージ圧力と間違えやすいですが、これは真空の内部で測定された絶対圧力です。
真空ポンプの性能における重要な要素
真空ポンプの性能を理解するには、到達圧力だけでなく、どのような測定基準（絶対圧力かゲージ圧力か）が使われているかを確認することが大切です。また、到達圧力が低ければ低いほど、真空ポンプの性能は高いとされ、より高精度な作業や研究に向いています。
まとめ
真空ポンプの「到達圧力」は、絶対圧力として表示されることが多く、これはポンプの性能を示す重要な指標です。「到達圧力 0.6Pa」や「到達圧力(GVOpen時) 6Pa」といった表記を正しく理解するためには、絶対圧力とゲージ圧力の違いを把握しておくことが重要です。
コメント