KRFスキャナーのレチクルにおけるペリクル面の位置：上面か下面か

半導体露光装置のKRFスキャナーで使用されるレチクルのペリクル面の位置について、正しい理解を深めるために、ペリクルの目的や役割を解説します。本記事では、ペリクル面が上面に配置されるのか、または下面に配置されるのかに関する疑問を解決します。

レチクルとペリクルの役割

レチクルは、露光装置においてパターン転写の役割を担う重要な部品です。ペリクルは、レチクルを保護するために取り付けられており、主にホコリや汚れから守る役割を果たします。また、ペリクルは焦点が合わないことによるパターン転写への影響を減少させるため、重要な役割を果たします。

ペリクル面の配置について

ペリクルは、通常、レチクルの上面に取り付けられます。この配置は、露光時にレチクルの汚れやホコリがつくのを防ぎ、また焦点を適切に合わせるために必要です。上面に取り付けられることで、物理的な影響を最小限に抑え、光学系のパフォーマンスを維持することができます。

一方、ネットで調べてみると、ペリクルが下面に配置されている図も見受けられますが、これは設計や使用目的に応じた異なる配置方法を示している場合があります。特に特殊な条件下では、下面にペリクルを配置することもあるかもしれませんが、一般的には上面に設置されることが多いです。

ペリクル面の配置が重要な理由

ペリクル面が上面に配置される主な理由は、露光装置がレチクルを扱う際に、ホコリや汚れを最小限に抑えることが重要だからです。もしペリクルが下面に取り付けられていると、ゴミや埃がレチクルに付着しやすく、パターン転写に影響を与える可能性があります。特に微細なパターン転写においては、これらの汚れが影響を及ぼすことが懸念されます。

まとめ

KRFスキャナーのレチクルのペリクル面は、一般的には上面に配置されます。これにより、ゴミや埃の付着を防ぎ、焦点が合わないことによる影響を減らすことができます。とはいえ、特殊なケースや設計により下面に配置されることもあるかもしれませんが、標準的な設計では上面に配置されることが一般的です。