工学 バイアス電圧が大きいと薄膜に欠陥が発生する理由:スパッタリング法の理解
スパッタリング法は、薄膜形成技術の一つとして広く使用されています。特に、バイアス電圧の影響は薄膜の品質に大きく関わります。今回は、なぜバイアス電圧を大きくすると形成される薄膜に欠陥が顕著になるのかについて、物理的および技術的な観点から解説し...
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